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LaMP : Lasers pour la Microélectronique et le Photovoltaïque

L’objectif de cette plateforme est de permettre aux industriels et aux académiques d’avoir un accès rapide à une large gamme de sources laser dans un environnement adapté à la mise en œuvre du procédé qu’ils souhaitent tester. Cet environnement permet le traitement d’échantillons ayant des caractéristiques très diverses, tant en dimensions qu’en nature. Une attention particulière est apportée à la métrologie des faisceaux lasers et à la caractérisation des traitements effectués.

En amont de ces développements de procédés laser, LaMP est utilisée pour étudier les mécanismes physiques mis en œuvre lors de l’interaction laser-matière et dont le contrôle permet de maîtriser les effets induits dans les matériaux irradiés.

La démarche globale est d’offrir aux acteurs de la microélectronique, du photovoltaïque, de l’énergie et des sciences du vivant une structure leur permettant de tester des procédés laser pouvant répondre à leur besoin et de valider des idées innovantes issues des laboratoires de recherche associés. Pour les procédés qui s’avèrent compatibles avec une mise en œuvre en milieu industriel, la plateforme accompagnera les partenaires dans la définition d’un prototype qui sera installé sur l’une des plateformes régionales, telle que CIM PACA, ou chez l’industriel concerné, afin de valider la technologie dans un environnement représentatif et de potentiellement l’ouvrir à d’autres applications. Cet accompagnement se fera en collaboration avec des intégrateurs de procédés laser. Les principaux utilisateurs de la plateforme LaMP sont aujourd’hui issus des domaines de la microélectronique et du photovoltaïque, mais il est évident qu’elle est ouverte à l’ensemble des secteurs applicatifs, notamment pour la réalisation de composants optiques, l’instrumentation médicale, ou encore les applications en sciences du vivant.




























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Plaquette LaMP







Description

La plateforme LaMP regroupe des lasers industriels de puissance de courtes durées d’impulsion (de 400fs à 100ns) et émettant sur une large gamme spectrale (de 193nm à 1064nm). Les principaux types de lasers sont accessibles au sein de cette plateforme : Des sources Nd-YAG nanoseconde et picoseconde (1w, 2w, 3w et 4w) Des sources Ytterbium femtoseconde et picoseconde fonctionnant à fort taux de répétition (jusqu’à 40 MHz) Des lasers à excimères émettant de fortes énergies dans l’UV (193nm, 248nm) (...)

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Applications

L’ensemble des applications classiques des lasers telles que la gravure, le perçage ou la découpe sont mises en œuvre au sein de la plateforme LaMP. Nous nous attachons plus particulièrement à étudier des procédés permettant d’atteindre de fortes résolutions (gravure sélective de films nanométriques, nano-structuration de surface) ou utilisant des matériaux complexes tels que le saphir, les matériaux organiques, les semi-conducteurs inorganiques (CIGS) et les supports souples. Nous développons (...)

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Contact


Gaëlle Coustillier
 : Responsable de la plateforme LaMP




Philippe Delaporte
 : Directeur du LP3


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